Стеблова, О. В.; Братусь, О. Л.; Педченко, Ю. М.; Євтух A. A. ФОРМУВАННЯ КРЕМНІЄВИХ МІКРО- ТА НАНОСТРУКТУР ДЛЯ ЕЛЕКТРОННОЇ ПОЛЬОВОЇ ЕМІСІЇ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології 2012, 9.