Druzhinin А. A.; Maryamova І. I.; Kogut I. Т.; Khoverko, Y. N. ДОСЛІДЖЕННЯ НИЗЬКОТЕМПЕРАТУРНИХ ХАРАКТЕРИСТИК ШАРІВ ПОЛІКРЕМНІЮ НА ІЗОЛЯТОРІ ДЛЯ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ ТЕПЛОВИХ І МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології 2017, 3, 10-15.