Korolev, A. N.; Plugotarenko, N. K.; Petrov, V. V.; Nazarova, T. N.; Semenistaya, T. V. ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НА МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ ПЛІВОК СКЛАДУ SіOx(SnOy). Сенсор. електроніка і мікросистем. технології 2017, 3, 30-34.