Morozovska, A. N., & Svechnikov, G. S. (2010). НАНОРОЗМІРНІСТЬ МАТЕРІАЛІВ У СУЧАСНИХ МІКРОСИСТЕМНИХ ТЕХНОЛОГІЯХ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 7(3), 14–26. https://doi.org/10.18524/1815-7459.2010.3.114464