Khomyak, V. V. (2010). СТРУКТУРНІ ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВОК CDO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 7(3), 69–73. https://doi.org/10.18524/1815-7459.2010.3.114581