Мєшалкін, А. Ю., Абашкін, В. Г., Прісакар, А. М., Трідух, Г. М., Андрієш, И. С., Бєц, Л. П., & Акімова, Е. А. (2012). ПРЕЦИЗІЙНИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТРИЧНИЙ АНАЛІЗ ТОВЩИНИ СУБМІКРОННИХ ПОЛИТИХ ПОЛІМЕРНИХ ПЛІВОК. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 9(3). https://doi.org/10.18524/1815-7459.2012.3.114659