Gridchin, V. A., & Chebanov, M. A. (2010). ОСОБЛИВОСТІ ДЕФОРМАЦІЇ МЕЗАТЕНЗОРЕЗИСТОРІВ МІКРОННИХ РОЗМІРІВ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 7(4), 42–47. https://doi.org/10.18524/1815-7459.2010.4.116318