Druzhinin А. A., Maryamova І. I., Kogut I. Т., & Khoverko, Y. N. (2017). ДОСЛІДЖЕННЯ НИЗЬКОТЕМПЕРАТУРНИХ ХАРАКТЕРИСТИК ШАРІВ ПОЛІКРЕМНІЮ НА ІЗОЛЯТОРІ ДЛЯ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ ТЕПЛОВИХ І МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 3(2), 10–15. https://doi.org/10.18524/1815-7459.2006.2.117519