Korolev, A. N., Plugotarenko, N. K., Petrov, V. V., Nazarova, T. N., & Semenistaya, T. V. (2017). ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НА МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ ПЛІВОК СКЛАДУ SіOx(SnOy). Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 3(2), 30–34. https://doi.org/10.18524/1815-7459.2006.2.117610