Вірт, І. С., & Падалка, І. В. (2025). РОЗРОБКА ТА МОДЕЛЮВАННЯ УФ-ФОТОРЕЗИСТИВНОГО МОДУЛЯ НА ОСНОВІ ТОНКОПЛІВКОВОГО ОКСИДУ ЦИНКУ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 22(4), 15–29. https://doi.org/10.18524/1815-7459.2025.4.339704