Kizjak, A. Y., Evtukh, A. A., & Steblova, O. V. (2016). ФОРМУВАННЯ НАНОПОРИСТИХ ПЛІВОК Al2O3. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, 13(4), 83–92. https://doi.org/10.18524/1815-7459.2016.4.86662