MOROZOVSKA, A. N.; SVECHNIKOV, G. S. НАНОРОЗМІРНІСТЬ МАТЕРІАЛІВ У СУЧАСНИХ МІКРОСИСТЕМНИХ ТЕХНОЛОГІЯХ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, [S. l.], v. 7, n. 3, p. 14–26, 2010. DOI: 10.18524/1815-7459.2010.3.114464. Disponível em: http://semst.onu.edu.ua/article/view/114464. Acesso em: 6 груд. 2025.