KHOMYAK, V. V. СТРУКТУРНІ ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВОК CDO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, [S. l.], v. 7, n. 3, p. 69–73, 2010. DOI: 10.18524/1815-7459.2010.3.114581. Disponível em: http://semst.onu.edu.ua/article/view/114581. Acesso em: 6 груд. 2025.