МЄШАЛКІН, А. Ю.; АБАШКІН, В. Г.; ПРІСАКАР, А. М.; ТРІДУХ, Г. М.; АНДРІЄШ, И. С.; БЄЦ, Л. П.; АКІМОВА, Е. А. ПРЕЦИЗІЙНИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТРИЧНИЙ АНАЛІЗ ТОВЩИНИ СУБМІКРОННИХ ПОЛИТИХ ПОЛІМЕРНИХ ПЛІВОК. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, [S. l.], v. 9, n. 3, 2012. DOI: 10.18524/1815-7459.2012.3.114659. Disponível em: http://semst.onu.edu.ua/article/view/62-69. Acesso em: 9 груд. 2025.