СТЕБЛОВА, О. В.; БРАТУСЬ, О. Л.; ПЕДЧЕНКО, Ю. М.; Євтух A. A. ФОРМУВАННЯ КРЕМНІЄВИХ МІКРО- ТА НАНОСТРУКТУР ДЛЯ ЕЛЕКТРОННОЇ ПОЛЬОВОЇ ЕМІСІЇ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, [S. l.], v. 9, n. 3, 2012. DOI: 10.18524/1815-7459.2012.3.115001. Disponível em: http://semst.onu.edu.ua/article/view/114-121. Acesso em: 11 груд. 2025.