GRIDCHIN, V. A.; CHEBANOV, M. A. ОСОБЛИВОСТІ ДЕФОРМАЦІЇ МЕЗАТЕНЗОРЕЗИСТОРІВ МІКРОННИХ РОЗМІРІВ. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, [S. l.], v. 7, n. 4, p. 42–47, 2010. DOI: 10.18524/1815-7459.2010.4.116318. Disponível em: http://semst.onu.edu.ua/article/view/116318. Acesso em: 5 груд. 2025.