Druzhinin А. A.; Maryamova І. I.; Kogut I. Т.; KHOVERKO, Y. N. ДОСЛІДЖЕННЯ НИЗЬКОТЕМПЕРАТУРНИХ ХАРАКТЕРИСТИК ШАРІВ ПОЛІКРЕМНІЮ НА ІЗОЛЯТОРІ ДЛЯ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ ТЕПЛОВИХ І МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН. Сенсорна електроніка і мікросистемні технології, [S. l.], v. 3, n. 2, p. 10–15, 2017. DOI: 10.18524/1815-7459.2006.2.117519. Disponível em: http://semst.onu.edu.ua/article/view/117519. Acesso em: 16 груд. 2025.