[1]
А. Ю. Мєшалкін, «ПРЕЦИЗІЙНИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТРИЧНИЙ АНАЛІЗ ТОВЩИНИ СУБМІКРОННИХ ПОЛИТИХ ПОЛІМЕРНИХ ПЛІВОК», Сенсор. електроніка і мікросистем. технології, т. 9, вип. 3, Лип 2012.