[1]
A. N. Korolev, N. K. Plugotarenko, V. V. Petrov, T. N. Nazarova, і T. V. Semenistaya, «ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НА МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ ПЛІВОК СКЛАДУ SіOx(SnOy)», Сенсор. електроніка і мікросистем. технології, т. 3, вип. 2, с. 30–34, Груд 2017.