Druzhinin AA, Maryamova II, Kutrakov OP, Pavlovsky IV. МІКРОКРИСТАЛИ КРЕМНІЮ З ВИСОКИМ П’ЄЗООПОРОМ ПРИ КРІОГЕННИХ ТЕМПЕРАТУРАХ ДЛЯ ЗАСТОСУВАННЯ В СЕНСОРАХ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 11, Жовтень 2017 [цит. за 02, Лютий 2026];1(1):69-77. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/111838