Shelepin NA. ДОСЛІДЖЕННЯ І РОЗРОБКИ МІКРОСЕНСОРІВ І МІКРОСИСТЕМНОЇ ТЕХНІКИ В ГНЦ РОСІЙСЬКІЙ ФЕДЕРАЦІЇ НПК “ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ЦЕНТР” МИЭТ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 17, Жовтень 2017 [цит. за 06, Грудень 2025];2(1):41-5. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/112088