Druzhinin AA, Maryamova II, Kutrakov OP, Pavlovskyy IV. ФІЗИЧНІ ОСНОВИ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН ДЛЯ НИЗЬКИХ ТЕМПЕРАТУР НА ОСНОВІ МІКРОКРИСТАЛІВ КРЕМНІЮ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 23, Жовтень 2017 [цит. за 17, Лютий 2026];3(3):5-13. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/112460