Morozovska AN, Svechnikov GS. НАНОРОЗМІРНІСТЬ МАТЕРІАЛІВ У СУЧАСНИХ МІКРОСИСТЕМНИХ ТЕХНОЛОГІЯХ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 30, Червень 2010 [цит. за 06, Грудень 2025];7(3):14-26. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/114464