Khomyak VV. СТРУКТУРНІ ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВОК CDO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 30, Червень 2010 [цит. за 06, Грудень 2025];7(3):69-73. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/114581