Мєшалкін АЮ, Абашкін ВГ, Прісакар АМ, Трідух ГМ, Андрієш ИС, Бєц ЛП, Акімова ЕА. ПРЕЦИЗІЙНИЙ ІНТЕРФЕРОМЕТРИЧНИЙ АНАЛІЗ ТОВЩИНИ СУБМІКРОННИХ ПОЛИТИХ ПОЛІМЕРНИХ ПЛІВОК. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 10, Липень 2012 [цит. за 09, Грудень 2025];9(3). доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/62-69