Стеблова ОВ, Братусь ОЛ, Педченко ЮМ, Євтух AA. ФОРМУВАННЯ КРЕМНІЄВИХ МІКРО- ТА НАНОСТРУКТУР ДЛЯ ЕЛЕКТРОННОЇ ПОЛЬОВОЇ ЕМІСІЇ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 13, Липень 2012 [цит. за 17, Лютий 2026];9(3). доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/114-121