Druzhinin AA, Maryamova II, Kogut IT, Khoverko YM. СЕНСОРИ ФІЗИЧНИХ ВЕЛИЧИН НА ОСНОВІ СТРУКТУР “КРЕМНІЙ НА ІЗОЛЯТОРІ” З РЕКРИСТАЛІЗОВАНИМ ШАРОМ ПОЛІКРЕМНІЮ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 28, Жовтень 2008 [цит. за 17, Лютий 2026];5(4):17-26. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/115093