Gridchin VA, Chebanov MA. ОСОБЛИВОСТІ ДЕФОРМАЦІЇ МЕЗАТЕНЗОРЕЗИСТОРІВ МІКРОННИХ РОЗМІРІВ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 23, Листопад 2010 [цит. за 05, Грудень 2025];7(4):42-7. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/116318