Druzhinin АA, Maryamova ІI, Kogut IТ, Khoverko YN. ДОСЛІДЖЕННЯ НИЗЬКОТЕМПЕРАТУРНИХ ХАРАКТЕРИСТИК ШАРІВ ПОЛІКРЕМНІЮ НА ІЗОЛЯТОРІ ДЛЯ СТВОРЕННЯ СЕНСОРІВ ТЕПЛОВИХ І МЕХАНІЧНИХ ВЕЛИЧИН. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 05, Грудень 2017 [цит. за 16, Грудень 2025];3(2):10-5. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/117519