Korolev AN, Plugotarenko NK, Petrov VV, Nazarova TN, Semenistaya TV. ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НА МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ ПЛІВОК СКЛАДУ SіOx(SnOy). Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 06, Грудень 2017 [цит. за 13, Грудень 2025];3(2):30-4. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/117610