Погребняк АД, Жоллинбеков БР, Махмуд АМ, Караша ІТ, Кірік ГВ, Ткаченко РЮ, Плотніков СВ. СТРУКТУРА ТА ВЛАСТИВОСТІ НАНОКРИСТАЛІЧНИХ ПОКРИТТІВ З НІТРИДУ ТИТАНУ ОТРИМАНИХ ПРИ ОСАДЖЕННІ ПОКРИТТІВ ДУГОВОГО РОЗРЯДУ І З ВЧ СТИМУЛЯЦІЄЮ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 20, Грудень 2011 [цит. за 06, Грудень 2025];8(4):31-6. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/119028