Вірт ІС, Падалка ІВ. РОЗРОБКА ТА МОДЕЛЮВАННЯ УФ-ФОТОРЕЗИСТИВНОГО МОДУЛЯ НА ОСНОВІ ТОНКОПЛІВКОВОГО ОКСИДУ ЦИНКУ. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 23, Грудень 2025 [цит. за 27, Січень 2026];22(4):15-29. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/339704