Kizjak AY, Evtukh AA, Steblova OV. ФОРМУВАННЯ НАНОПОРИСТИХ ПЛІВОК Al2O3. Сенсор. електроніка і мікросистем. технології [інтернет]. 19, Грудень 2016 [цит. за 05, Грудень 2025];13(4):83-92. доступний у: http://semst.onu.edu.ua/article/view/86662