ЛАЗЕРНА УСТАНОВКА ДЛЯ ВИМІРЮВАННЯ ПАРАМЕТРІВ АКУСТИЧНОГО ПОЛЯ НА ПОВЕРХНІ АКУСТОПРОВОДІВ

Автор(и)

  • I. V. Blonsky Інститут фізики НАН України, Україна
  • Ya. I. Lepikh Одеський національний університет імені І.І.Мечникова, Україна
  • V. V. Semenov Інститут фізики НАН України, Україна
  • V. G. Gryts Інститут фізики НАН України, Україна
  • A. V. Stronski Інститут фізики напівпровідників ім. В.Лашкарьова НАН України, Україна

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2010.1.114083

Ключові слова:

поверхневі акустичні хвилі, гетеродинний метод, амплітуда, фаза

Анотація

Вперше показана можливість розробки та створення стійкої відносно дії дестаб ілізуючих факторів функціональної оптичної схеми лазерної гетеродинної установки, призначеної для дослідження амплітудних і фазових полів поверхневих акустичних хвиль (ПАХ). Вона виконана не окремими оптичними елементами, а зібрана з двох узлів — вузол зонда і вузол фотоприймача з мінімальним числом оптичних елементів. Це дало змогу зменшити похибку при проведенні амплітудних та фазових вимірів, оскільки установка забезпечу є високу чутливість до малих амлітуд ПАХ і хорошу відтворюванність результатів. Наводиться оптична схема, викладено принцип дії установки, надаються результати деяких досліджень.

Посилання

Semenov V.V., Blonsky I.V., Gryts V. G. Compact laser probe for surface acoustic wave, Semiconductor Physics Quantum Electronics & Optoelectronics, 2010, v.13, 1, P.84-86.

Antonov S.N., Rezvov Yu.G. High-efficiency multibeam Bragg acoustooptic diffraction with phase optimization of multifrequency acoustic wave / J.Tech. Phys. — 2007. — V.77, N8. — P.93-100.

De la Rue R.M., Humphryes B.F., Mason I.M., Ash E.A. “SAW amplitude and phase measurements using laser probes”, Proc. IEEE, 1972, 119, 2. — P.117-126.

Whitman R.L., Korpel A. “Probing of Acoustic Surface Pertubation by Coherent Light”, Appl. Opt.. —1969. — 8, 8. — P.1567-1576.

Stegeman G.I. “Optical probing of SAW and SAWdevices,” IEEE Trans, 1976, SV-23, 1. — P.33-63.

Wickramasinhe H.K., Ash E.A. “Optical probing of SAW application to device diagnostics and to non-destructive testing” in Proc. of Symp. on optical and acoustic microelectronics. — 1975 I.23. — P.413-431.

Jungeman R.L., Bower J.E., Green J.B., Kino G.S. “Fiber optic laser probe for acoustic wave measurements” Appl. Phys. Lett., 1982, 40,4. — P.313-315.

Grankin I.M., Gryts V.G., Ovsyannikov V.V. “laser installation for the measurement of phase and amplitude of the wave fields in the microstructures on the base of SAW” In book:”Problems of functional electronics” Gorky,1980. — P.123-124. (In Russian).

Britsyn K.N., Akpambetov V.B., Gryts V.G., Nikitin N.V. “Vizualization of SAW inacoustoelectronic devicees by the method of optical probing” Electronic technology, ser. 10 “Microelectronic devices” 1979, 3(15). — P.93-96. (In Russian).

Akpambetov V.B., Bzhezinsky A.D., Britsyn K.I., Gryts V.G. “Investigation of the band-pass filters on SAW by the method of optical probing” Electronic technology ser. “Radiocomponents” 1985 3(60). — P.77-78. (In Russian).

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-11-06

Номер

Том 7 № 1 (2010)

Розділ

Деградація, метрологія і сертифікація сенсорів

Ліцензія

Авторське право (c) 2010 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.