ДВОПОРТОВИЙ ПАВ СЕНСОР З НАНОСТРИЖНЯМИ ZnO В ЯКОСТІ ЧУТЛИВОГО ЕЛЕМЕНТА

Автор(и)

  • В. Ульянова Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут", Ukraine https://orcid.org/0000-0002-8334-2756
  • А. Орлов Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут", Ukraine https://orcid.org/0000-0001-9426-6317
  • А. Зазерін Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут", Ukraine https://orcid.org/0000-0002-9407-7388
  • А. Богдан Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України «Київський політехнічний інститут», Ukraine
  • Г. Пашкевич Науково-дослідний інститут прикладної електроніки Національного технічного університету України «Київський політехнічний інститут», Ukraine

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2015.1.104486

Ключові слова:

ПАХ сенсор, нанострижні ZnO, метод кінцевих елементів, низькотемпературний синтез, інерційне навантаження

Анотація

У роботі запропоновано конструкцію високочутливого двопортового ПАХ сенсора на підкладці 128YX – LiNbO3 з чутливим елементом на основі нанострижнів ZnO. Розроблено технологію низькотемпературного синтезу нанострижнів ZnO, досліджено морфометричні характеристики за допомогою методів скануючої електронної мікроскопії, енергодисперсійної спектрометрії та рентгеноструктурного аналізу. Побудовано фізичні моделі ПАХ сенсора та ПАХ сенсора з нанострижнями ZnO, проаналізовано чутливість таких сенсорів методом кінцевих елементів. Показано, що ПАХ сенсор має чутливість до інерційного навантаження 3.89·10-15 г/ Гц, а при застосуванні нанострижнів ZnO чутливість зростає до 6.24·10-17 г/Гц

Посилання

A. Orlov et.al. Morphology and Structure of ZnO Nanorods for SAW Sensors Applications, Conference Proceedings 23rd International Crimean Conference «Microwave & Telecommunication Technology» (CriMiCo’2013), Sevastopol : Weber Publishing, pp. 830 – 831 (2013).

A. Orlov et.al, Synthesis of ZnO Nanorods for Acoustic Wave Sensor, Conference Proceedings 2013 IEEE XXXIII International Scientific Conference Electronics and Nanotechnology ELNANO, Kyiv, pp. 25 – 27 (2013).

V. Ulianova et.al. ZnO nanostructures as sensing element of acoustic wave sensor // Eastern-European Journal of enterprise technologies, 6/12 (66), pp. 72 – 75 (2013).

D. Morgan. Surface Acoustic Wave Filters with Applications to Electronic Communications and Signal Processing. Elsevier, UK. 448 р. (2007).

Y. J. Lee et.al. Development of a SAW gas sensor for monitoring SO2 gas // Sensors and Actuators A: Physical, Vol. 64, no. 2, pp. 173 – 178 (1998).

N. Gouthami et.al, Design and simulation of 3D ZnO nanowire based gas sensor for conductivity studies, The COMSOL Conference, 5 p. (2011).

##submission.downloads##

Опубліковано

2015-01-01

Номер

Том 12 № 1 (2015)

Розділ

Акустоелектронні сенсори

Ліцензія

Авторське право (c) 2015 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.