DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2014.3.108238

ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ ПАРАМЕТРІВ НА ВІДТВОРЕННЯ ЄЛЕКТРИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ПЛІВОК SnO2 , ОТРИМАНИХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ

Г. С. Хрипунов, О. В. Пірогов, В. О. Новіков, А. Л. Хрипунова

Анотація


Для створення промислових технологій виготовлення газових датчиків та фронтальних електродів плівкових сонячних елементів досліджено вплив потужності магнетронного розпилення та концентрацію кисню в робочому газі на відтворення електричної провідності плівок діоксиду олова. Експериментально показано, що для підвищення відтворюваності електричних властивостей необхідно знизити електричну потужність до 10 Вт и підвищити концентрацію кисню до 50%.

Ключові слова


діоксид олова; плівки; магнетронне розпилення; електропровідність

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


A. Luque, S. Hegedus. Handbook of Photovoltaic Science and Engineering // John Wiley&Sons 370 p. (2003).

T.J.Coutts, X.Wu, P.Sheldon, D.H. Rose. Development high-performance transparent conducting oxides and their impaction on the performance CdS/CdTe solar cells // Proceeding of the 2nd Word Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion.- Vienna (Austrian). pp 720- 724,(1999).

X.Wu. High-efficiency polycrystalline CdTe thin-film solar cells // Solar Energy, 96, pp. 803-814, (2004).

M.Hadrich, C.Heisler, U.Reislohner, C.Kraft, H. Metzner. Back contact formation in thin cadmium telluride solar cells // Thin Solid Films, 519(21) 31, pp. 7156-7159(2011).

L.A. Kosyachenko, E.V.Grushko, X.Mathew Quantitative assessment of optical losses in thin-film CdS/CdTe solar cells // Solar Energy Materials and Solar Cells, 96, pp. 231-237, (2012).

N. Yamazoe. Toward innovations of gas sensor technology // Sensors and Actuators, vol. B (108), pp. 2–14 (2005).

X. Liu, S. Cheng, H. Liu, S. Hu, D. Zhang and H. Ning. A survey on gas sensing technology // Sensors, 12, pp. 9635-9665 (2012).

A. F. Khan, M. Mehmood, A.M. Rana, and M.T. Bhatti. Effect of annealing on electrical resistivity of rf-magnetron sputtered nanostructured SnO2 thin films // Applied Surface Science, 255, pp. 8562–8565 (2009).

N.H. Al-Hardan, M.J. Abdullah, A. Abdul Aziz. Sensing mechanism of hydrogen gas sensor based on RFsputtered ZnO thin films // International journal of hydrogen energy, 35, pp. 4428-4434 (2010).

A.S. Reddy, N.M. Figueiredo and A. Cavaleiro. Nanocrystalline Au:Ag:SnO2 films prepared by pulsed magnetron sputtering // Journal of Physics and Chemistry of Solids, 74, pp. 825–829 (2013).

L.S. Palatnik,M.J. Fuchs, and V.M. Kosevich, The Mechanism of Formation and Substructure of Condensed Films Nauka, M. 340 s (1972).




Copyright (c) 2014 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)