ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ ПАРАМЕТРІВ НА ВІДТВОРЕННЯ ЄЛЕКТРИЧНИХ ВЛАСТИВОСТЕЙ ПЛІВОК SnO2 , ОТРИМАНИХ МЕТОДОМ МАГНЕТРОННОГО РОЗПИЛЕННЯ

Г. С. Хрипунов, О. В. Пірогов, В. О. Новіков, А. Л. Хрипунова

Анотація


Для створення промислових технологій виготовлення газових датчиків та фронтальних електродів плівкових сонячних елементів досліджено вплив потужності магнетронного розпилення та концентрацію кисню в робочому газі на відтворення електричної провідності плівок діоксиду олова. Експериментально показано, що для підвищення відтворюваності електричних властивостей необхідно знизити електричну потужність до 10 Вт и підвищити концентрацію кисню до 50%.

Ключові слова


діоксид олова; плівки; магнетронне розпилення; електропровідність

Посилання


A. Luque, S. Hegedus. Handbook of Photovoltaic Science and Engineering

// John Wiley&Sons 370 p. (2003).

T.J.Coutts, X.Wu, P.Sheldon, D.H. Rose. Development high-performance transparent conducting oxides and their impaction on the performance CdS/CdTe solar cells // Proceeding of the 2nd Word Conference on Photovoltaic Solar Energy Conversion.- Vienna (Austrian). pp 720- 724,(1999).

X.Wu. High-efficiency polycrystalline CdTe thin-film solar cells // Solar

Energy, 96, pp. 803-814, (2004).

M.Hadrich, C.Heisler, U.Reislohner, C.Kraft, H. Metzner. Back contact

formation in thin cadmium telluride solar cells // Thin Solid Films, 519(21)

, pp. 7156-7159(2011).

L.A. Kosyachenko, E.V.Grushko, X.Mathew Quantitative assessment of

optical losses in thin-film CdS/CdTe solar cells // Solar Energy Materials and Solar Cells, 96, pp. 231-237, (2012).

N. Yamazoe. Toward innovations of gas sensor technology // Sensors and

Actuators, vol. B (108), pp. 2–14 (2005).

X. Liu, S. Cheng, H. Liu, S. Hu, D. Zhang and H. Ning. A survey on gas

sensing technology // Sensors, 12, pp. 9635-9665 (2012).

A. F. Khan, M. Mehmood, A.M. Rana, and M.T. Bhatti. Effect of annealing

on electrical resistivity of rf-magnetron sputtered nanostructured SnO2

thin films // Applied Surface Science, 255, pp. 8562–8565 (2009).

N.H. Al-Hardan, M.J. Abdullah, A. Abdul Aziz. Sensing mechanism of

hydrogen gas sensor based on RFsputtered ZnO thin films // International

journal of hydrogen energy, 35, pp. 4428-4434 (2010).

A.S. Reddy, N.M. Figueiredo and A. Cavaleiro. Nanocrystalline

Au:Ag:SnO2 films prepared by pulsed magnetron sputtering // Journal of

Physics and Chemistry of Solids, 74, pp. 825–829 (2013).

L.S. Palatnik,M.J. Fuchs, and V.M. Kosevich, The Mechanism of Formation

and Substructure of Condensed Films Nauka, M. 340 s (1972).




DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2014.3.108238

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2014 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)