DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2004.1.111835

СТАН І ПЕРСПЕКТИВИ СЕНСОРНОЇ ЕЛЕКТРОНІКИ НА ОСНОВІ АКУСТОЕЛЕКТРОННИХ ЯВИЩ

Ya. I. Lepikh

Анотація


У статті з позиції необхідності створення нового покоління сенсорів, що відповідають вимогам істотного підвищення їх метрологічних характеристик і інтелектуалізації, розглянуті можливості використання для цієї мети акустоелектронних явищ. Проаналізовано досягнуті результати досліджень і розробок сенсорів, побудованих на основі акустоелектронних ефектів, що мають місце при поширенні поверхневих акустичних хвиль. Приведено результати досліджень нових перспективних принципів побудови сенсорів такого класу. Описано конструктивно-технологічні рішення деяких сенсорів фізичних величин і сенсорів газу. Зазначено можливі області застосування розробок і приводяться основні технічні характеристики деяких сенсорів.


Ключові слова


акустоелектронні явища; поверхнево акустичні хвилі; сенсор; плівкові структури; адсорбція

Повний текст:

PDF (English)

Посилання


MILKYAVICHENE E.A., SEREIKO А.P. THE SAW CONVERTER ON A BASIS OF TENSSENSITIVE CDS LAYER / THE LETTERS IN JTPH. — 1985, -V.11. — №1. — P.18-21.

KOLESHKO V.M., MESHKOV YU.V. MICROELECTRONIC INFORMATION CONVERTERS ON SURFASE ACOUSTIC WAVES //FOREIGN ELECTRONICS. — 1985. — № 9. — P.3-116.

RECHETSKIIV.I. ACOUSTOELECTRONIC RADIOCOMPONENTS. CIRCUIT, TOPOLOGY, CONSTRACTIONS. — M.: RADIO AND COMMUNICATION. — 1987. — 192P.

GULYAEV YU.V., KOLESHKO V.М., MESHKOV YU.V. ТЕNSEFFECT IN STRUCTURES ON SURFACE ACOUSTIC WAVES WITH SOUNDCONDUCTOR MADE OF MONOCRYSTAL QUARTZ // RADIO ENGINEERING AND ELECTRONICS. — 1988. — V.33, №11. — P 2448-2451. 5. KITTINGER E., TICHY J. ELECTROELASTIC EFFECT OF CRYSTAL RODS EXPRESSED BY FUNDAMENTAL MATERIAL CONSTANTS // J. ACOUST. SOC. AMER. — 1988. — VOL. 83. — № 2. — P.647-651.

TILMANN Z.U. STRAIN SENSOR WITH COMMERCIAL SAWR // SENSOR AND ACTUATORS. — 1989. — VOL.17. — № 1-2. — P.235-239.

LEPIKH YA. I. STRAIN EFFECT IN SURFACE ACOUSTIC WAVE WITH A PIEROELECTRIC ACOUSTIC LINE AND SENSORS

BASED ON THIS EFFECT // SEMICOND. PHUS. QUANT. ELECTRON. OPTOELECTRON. — 2000. — V.3. — № 1. — P.91-93.

INTEGRAL PIEZOELECTRIC SIGNAL FILTRATION AND PROCESSING APPARATUS. EDITTED BY AKPAMBETOV V.B. — RADIO AND COMMUNICATION. 1985. — 123P.

RIDER T.N., KALLEN D.I. PRESSURE AND TEMPERATURES SENSORS USING SAW // IEEE. — 1976. — V.64, №2. — P.226-228.

LEPIKH YA.I. INVASTIGATION OF ANGULAR DEPENDENCE OF SAW SPEED IN QUARTZ OF VARIOUS CRYSTALLOGRAPHIC SECTIONS// IN BOOK.: ACOUSTOELECTRICAL AND PHOTOACOUSTIC METHODS SUBSTITUTE RESEARCH. — K. — 1989. — P.102-104.

SOKOLINSKII A.G. THE ALTERNATIVE ULTRASONIC DELAY LINE ON THE BASE OF RAYLEIGH WAVES //RADIOELECTRONICS QUESTIONS. SER. COMMON TECHNICAL. — 1971. — №.1. — P.86-94.

LEPIKH YA. I. THE MECHANICAL SUBSTITUTES SENSORS BASED ON SURFACE ACOUSTIC WAVES // 35 INTERN. WISSENSCHAFTLICHES KOLLOQVIUM TECHN. HOCH SCHULE / CMENAU. DDR-1990. — VORTRAGSREINE. B9. — P.80-82.

LEPIKH YA.I. THE SENSOR WITH AN ELEMENT ON SAW FOR FILM THICKNESS MEASUREMENT// EXPERIMENT DEVICES AND ENGINEERING. — 1996- №6. — P.145.

LEPIKH YA.I. ACOUSTOELECTRON SENSORS FOR EQUIPMENT AND TECHNOLOGICAL PROCESSES WHICH COUPLING WITH COMPUTER//MEASURING COMPUTING TECHNIQUE IN TECHNOLOGICAL PROSESES. — 2001. — №.8-P.472-475.

LEPIKH YA.I., CHERNYAK N.G. FEATURES PRESSURE SENSORS ON SAW DEVELOPMENT FOR АES // TECHNOLOGY AND DESIGNING IN ELECTRONIC APPARATUS. — 2002. №.1. — P.17-21.

MEYER P.S., SHULZ M.B. TEMPERATURE EFFECTS IN REFLECTIVE SURFACE ACOUSTIC WAVE DELAY LINES// TLLECTRON.LETT. — 1993. — №9. — P.523.

ANISIMKIN V. I., KOTELJANSKII I.M., VERONA E., PENZA M. PROCEEDINGS INTERNAT. SYMP. ACOUSTOELECTRONICS, FREQUENCY CONTROL, SIGNAL GENERATION 17-19 SEPT. 1996. MOSCOW, 123-127 (1996).

HORRILLO M.C., FONTECHA J.L., SAYAGO J. AND THE OTHER. DETECTION OF HYDROCARBONS USING SAW AND RESISTIVE SENSORS // BOOK OF ABSTRACTS. “EUROSENSORXVI”, SEPT. 15-18, 2002, PRAGUE, CZECH REPUBLIC.

KORENMAN YA.I., KALACHA.V.,RUSANOVA T.YU., SHTYKOV S.N. APPLICATION OF PIEZOSENSORS ON THE BASIS LB ARAKHIN ACID FILMS FOR NITROALKANE DETECTING IN AIR // SENSOR, №2, JUNE 2002, P. 14.

KRYSHTAL’ R.G., KUNDIN A.P., MEDVED’ A.V., SHEMET V.V. THE SORPTION TYPE GAS SENSOR ON SURFACE ACOUSTIC WAVES SENSITIVE TO GASES THERMAL PROPERTIES //LETTERS INTO JTHPH, 2002, V. 28, №. 2, P. 25.

AULD B.A. ACOUSTIC FIELDS AND WAVES IN SOLIDS. V.2 (NEW YORK: WILEY, 1973).

SLOBODNIK E. IEEE. 64, №5, 10-26 (1976).

LEPIKH YA.I. INVESTIGATION OF GAS SENSOR ELEMENTS ON SURFACE ACOUSTIC WAVES WITH FILM STRUCTURES PROPERTIES//SCIENTIFIC BULLETIN CHERNOVTSY F. FEDKONICH STATE UNIVERSITY — 2000. — №86. — P. 96-100.

LEPIKH YA.I., SMYNTYNA V.A., KHOMENKO M.V. AND THE OTHER. FUNCTIONAL PROPERTIES OF MATERIALS ON THE BASE OF GERMANIUM COORDINATION COMPOUNDS// IN THE BOOK: ARTICLES OF INTERNATIONAL SCIENT. — TECHN. CONFERENCE “FUNCTIONAL MATERIALS”. YALTA. — 2003. — P.41.

LEPIKH YA. I., SMYNTUNA V.A., PRONICHKIN V.D. WORKSHOP “ SENSORS SPRINGTIM IN ODESSA “. 29- 30. MAY 1998. ODESSA. — UKRAINE, 48 (1998)




Copyright (c) 2004 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)