ФОРМУВАННЯ ТОНКИХ ГАЗОЧУТЛИВИХ ОКСИДНИХ ПЛІВОК ЗМІШАНОГО СКЛАДУ ЛЕГОВАНИМ СРІБЛОМ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2004.1.111840Ключові слова:
тонка плівка, легування, властивостіАнотація
Наведено опис процесів формування тонких газочутливих оксидних плівок змішаного складу, легованих сріблом з розчином тетраетоксисилану, хлориду олова (IV) і нітрату срібла. Показано, що прийоми золь-гель-технології дозволяють отримувати матеріали для створення хімічних сенсорів, що володіють високими газочутливими властивостями.
Посилання
W. Gopel. Progr. Surf. Sci., 20, 1985) 9.
C.H. Liu, L. Zhang, Yuan-Jin He.//Thin Solid Films 304(1997).
B. A. Akimov, A. V. Albul. The electrical conductivity of polycrystalline SnO2(Cu) films and their sensitivity to hydrogen sulfide//Semiconductors.1997. Vol. 31, №4, pp. 335-339
M.S. Tang, G.R. Dai, D.S. GaO.//Applied Surface Science. Vol.171.2001. p.226-230.
M.S. Tang, G.R. Dai, D.S. GaO.//Vacuum. Vol.59.2000. p.877-884.
C.J. Brinker, G.W. Schever. Sol-Gel Science: The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing// Academic Press. N.Y. — 1990.
J.Livage. Sol-Gel Synthesis of Heterogenious Catalysis from Aqueous Solutions.// Catalysis Today.—1998. V.41, p. 3-19.
K.V. Zinoviev, O. F. Vichlyancev, О.G. Gribov. Synthesis of oxide films from the solutions and their’s using in electronics.—М. CNSI. Electronica, 1974, 62 p.
N. V. Suykovskaya. Chemical methods of thin transparent films synthesis.—L. Chimiya, 1971, 200 p
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2004 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
