ФОРМУВАННЯ ТОНКИХ ГАЗОЧУТЛИВИХ ОКСИДНИХ ПЛІВОК ЗМІШАНОГО СКЛАДУ ЛЕГОВАНИМ СРІБЛОМ

Автор(и)

  • V. V. Petrov Таганрозький державний радіотехнічний університет ім. В. Д. Калмикова, Російська Федерація
  • N. K. Plugotarenco Таганрозький державний радіотехнічний університет ім. В. Д. Калмикова, Російська Федерація
  • T. N. Nazarova Таганрозький державний радіотехнічний університет ім. В. Д. Калмикова, Російська Федерація
  • N. F. Kopilova Таганрозький державний радіотехнічний університет ім. В. Д. Калмикова, Російська Федерація
  • A. N. Korolev Таганрозький державний радіотехнічний університет ім. В. Д. Калмикова, Російська Федерація
  • A. T. Kazakov Ростовський державний університет, Російська Федерація

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2004.1.111840

Ключові слова:

тонка плівка, легування, властивості

Анотація

Наведено опис процесів формування тонких газочутливих оксидних плівок змішаного складу, легованих сріблом з розчином тетраетоксисилану, хлориду олова (IV) і нітрату срібла. Показано, що прийоми золь-гель-технології дозволяють отримувати матеріали для створення хімічних сенсорів, що володіють високими газочутливими властивостями.

Посилання

W. Gopel. Progr. Surf. Sci., 20, 1985) 9.

C.H. Liu, L. Zhang, Yuan-Jin He.//Thin Solid Films 304(1997).

B. A. Akimov, A. V. Albul. The electrical conductivity of polycrystalline SnO2(Cu) films and their sensitivity to hydrogen sulfide//Semiconductors.1997. Vol. 31, №4, pp. 335-339

M.S. Tang, G.R. Dai, D.S. GaO.//Applied Surface Science. Vol.171.2001. p.226-230.

M.S. Tang, G.R. Dai, D.S. GaO.//Vacuum. Vol.59.2000. p.877-884.

C.J. Brinker, G.W. Schever. Sol-Gel Science: The Physics and Chemistry of Sol-Gel Processing// Academic Press. N.Y. — 1990.

J.Livage. Sol-Gel Synthesis of Heterogenious Catalysis from Aqueous Solutions.// Catalysis Today.—1998. V.41, p. 3-19.

K.V. Zinoviev, O. F. Vichlyancev, О.G. Gribov. Synthesis of oxide films from the solutions and their’s using in electronics.—М. CNSI. Electronica, 1974, 62 p.

N. V. Suykovskaya. Chemical methods of thin transparent films synthesis.—L. Chimiya, 1971, 200 p

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-10-11

Номер

Розділ

Мікросистемні та нанотехнології (MST, LІGA-технологія, актюатори та ін.)