ЛАЗЕРНО-ФОТОІОНІЗАЦІЙНА ТЕХНОЛОГІЯ І НОВА ПРИНЦИПІАЛЬНА СХЕМА УСТАНОВКИ ДЛЯ ВИГОТОВЛЕННЯ ПЛІВОК ОСОБЛИВО ЧИСТОГО СКЛАДУ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2005.2.112299Ключові слова:
лазерно-фотоіонізаційна технологія, виготовлення плівок, очищення напівпровідникових речовин, оптимальні схемиАнотація
Розроблені нові схеми лазерно-фотоіонізаційної технології контролю та очищення напівпровідникових речовин і виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні. Представлено нову принципіальну схему відповідних установок.Посилання
WAINFORDNER J., SPECROSCOPIC METHODS OF DETERMINATION FOR ELEMENTS TRACES. — AMSTERDAM: NORTH HOLLAND, 2001.
LETOKHOV V. S. NONLINEAR SELECTIVE PHOTOPROCESSES IN ATOMS AND MOLECULES. — М.,1983. — 408C.
IVANOV L. N., LETOKHOV V. S. SPECTROSCOPY OF AUTOIONIZATION RESONANCES IN HEAVY ELEMENTS ATOMS// COM. MOD. PHYS. D.:AT. MOL. PHYS. — 1985. — VOL. 4. — P. 169-184.
GLUSHKOV A. V.,IVANOV L. N. DC STRONG-FIELD STARK-EFFECT: CONSISTENT QUANTUM-MECHANICAL APPROACH// J. PHYS. B: AT. MOL. OPT. PHYS. — 1993. — VOL. 26,N16. — P. L379-L386.
RYABOV E. A. LASER SEPARATION OF ISOTOPES ON THE BASIS OF IR MULTI-PHOTON DISSOCIATION OF MOLECULES // USP. PHYS. NAUK. — 2004. — VOL. 174. — P. 684-688.
STOLL W. PRESENT STATUS OF INDUSTRIAL ISOTOPE SEPARATION BY LASER TECHNOLOGY// ATOMIC AND MOLECULAR PULSED LASERS. — TOMSK: SO RAN, 2001. — P. 71.
BUCHANOV V. V., KAZARYAN M., KALUGIN M., PROKHOROV A. M. LASER SEPARATION OF SILICON ISOTOPES BY THE AVLIS TECHNOLOGY// ATOMIC AND MOLECULAR PULSED LASERS. — TOMSK: SO RAN,2001. — P. 72.
GLUSHKOV A. V., AMBROSOV S. V., SHPINAREVA I. M. NON-LINEAR SELECTIVE PHOTOPROCESSES IN ATOMS AND MOLECULES AND THEIR OPTIMAL GOVERNING. OPTIMIZED ISOTOPE SEPARATION SCHEMES// ATOMIC AND MOLECULAR PULSED LASERS. — TOMSK: SO RAN, 2001. — P. 70.
GLUSHKOV A. V., AMBROSOV S. V., KORCHEVSKY D. A., IGNATENKO A. V., DC STARK EFFECT IN NON-H ATOMS: OPERATOR PERTURBATION THEORY// INTERN. JOURN. QUANT. CHEM. — 2004. — VOL. 99.,N5-P. 685-592.
AMBROSOV S. V., LASER PHOTO-IONIZATION SENSOR OF THE SEPARATING ISOTOPES AND NUCLEAR REACTIONS PRODUCTS: THEORY AND NEW SCHEME// SENSOR ELECTR. MICROSYST. TECHN. — 2004. — N2. — P. 37-45.
AMBROSOV S. V. LASER PHOTO-IONIZATION SENSOR OF THE SEPARATING HEAVY ISOTOPES AND NUCLEAR ISOMERS: SELECTIVE IONIZATION BY DC ELECTRIC AND LASER FIELD (U, TM) // SENSOR ELECTR. & MICROSYST. TECHN. — 2005. — N1. — P. 34-40.
AMBROSOV S. V., NEW OPTIMAL SCHEMES OF THE LASER PHOTO-IONIZATION TECHNOLOGIES FOR CLEANING THE SEMICONDUCTOR MATERIALS AND PREPARING THE FILMS OF PURE COMPOSITION AT ATOMIC LEVEL// FUNCTIONAL MATERIALS. — 2003. — V. 10,N2. — P. 201-205.
AMBROSOV S. V. SELECTIVE PHOTO-IONIZATION OF ATOMS: RESONANT RE-CHARGING IN VAPOURS OF ALKALI ELEMENTS AND URANIUM // PHOTOELECTRONICS. — 2002. — VOL. 11. — P. 40-45.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2005 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
