ОПТИМІЗАЦІЯ ТЕХНОЛОГІЇ ПОЛІРУВАННЯ ВХІДНИХ ВІКОН НА ОСНОВІ ОПТИЧНОЇ КЕРАМІКИ KO1, KO12 ДЛЯ ІЧ СЕНСОРІВ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2005.2.112329Ключові слова:
еліпсометричний контроль, алмазне полірування, оптична керамікаАнотація
В даній роботі на основі еліпсометричних вимірів було оптимізовано технологію механічної обробки полірованих деталей з оптичної кераміки КО1 та КО12. Еліпсометрія — високоефективний безконтактний метод контролю якості оптичних поверхонь, в якому використовують залежність стану поляризації світла від властивостей та параметрів поверхні та поверхневих шарів досліджуваної відбивної системи. Показано, що високопродуктивна технологія алмазного полірування забезпечує досягнення еліпсометричних параметрів на рівні традиційних методів полірування.Посилання
T. V. VLADIMIROVA, N. YA. GORBAN, V. P MASLOV, T. S. MELNIK, V. A. ODARICH, THE RESEARCH OF THE OPTICAL PROPER TIES AND BUILDING OF SITALL // OMP, 1979, №9. — P. 31-33;
FUNDAMENTALS OF AN ELLIPSOMETRY. UNDER EDITION OF A. V. RZHANOV. — NOVOSIBIRSK, NAUKA, 1979;
T. V. ANDREEVA, V. A. TOLMACHEV, METHODOLOGICAL ASPECTS OF ELLIPSOMETRIC EXPERIMENT ON OPTICAL MATERIALS // OMP, 1986, №10. — P. 36-39;
V. A. ODARICH, MEASUREMENT OF SMALL ELLIPSOMETRIC PARAMETERS BY A PHOTOELECTRIC METHOD // ZAV. LAB., 1977, №43. — P. 1093;
THE REFERENCE BOOK OF THE TECHNOLOGIST — OPTICIAN. UNDER EDITION OF S. M. KUZNEZCOVA, M. A. OKATOVA. — LENINGRAD, MAGNITOSTROENIE, LENINGRAD DEPARTMENT, 1983. — 414 PAGES;
A. I. BELYAEVA, A. A. GALUZA, T. G. GREBENNIK, V. PYURIYEV, OPTICAL CONSTANTS OF SURFACE LAYER ON GADOLINIUM GALLIUM GARNET: ELLIPSOMETRIC STUDY // SEMICONDUCTOR PHYSICS, QUANTUM ELECTRONICS AND OPTOELECTRONICS, 1999, V. 2, № 4. — P. 61-65;
M. J. RIEDL, OPTICAL DESIGN FUNDAMENTALS FOR INFRARED SYSTEMS // SPIE OPTICAL ENG. PRESS, BELLINGHAM, USA, 1995. — P. 136.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2005 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
![Creative Commons License](http://i.creativecommons.org/l/by-nc/4.0/88x31.png)
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.