СТРУКТУРНІ ТА ФІЗИЧНІ ВЛАСТИВОСТІ ПЛІВОК CDO, ОДЕРЖАНИХ РЕАКТИВНИМ МАГНЕТРОННИМ РОЗПИЛЮВАННЯМ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2010.3.114581Ключові слова:
питомий опір, тонкі плівки CdO, магнетронне розпилюванняАнотація
Досліджені структурні, електричні і оптичні властивості плівок оксиду кадмію, отриманих за допомогою магнетронного розпилювання в суміші аргону і кисню, при різних технологічних умовах осадження. Показано можливість контрольовано керувати цими властивостями шляхом зміни умов осадження та проведення ізотермічного відпалу. Встановлено, що даний метод дозволяє отримувати високопровідні прозорі плівки CdO з питомим опором ρ = 3∙10—4 Ом ∙ см і оптичною прозорістю Т ≈ 80 — 90 % .
Посилання
Dantus C., Rusu G. G., Dobramir M., Rusu M. Preparation and characteriration of CdO thin films obtained by thermal oxidation of evaporated Cd thin films //Applied Surfase Science.— 2008.— V. 255, ¹ 5 PART 2.— P. 2665—2670.
Ramakishna Reddy K. T., Sravani C., Miles R. W. Characterisation of CdO thin films deposited by activated reactive evaporation //Journal of Crystal Growth.— 1998.— V. 184/185.— P. 1031—1034.
Zhou Q., Ji Z., Hu B., Chen C., Zhao L., Wang C. Low resistivity transparent conducting CdO thin films deposited by DC reactive magnetron sputtering at room temperature //Materials Letters.— 2007.— V. 61, ¹ 2.— P. 531—534.
Ellis D. M., Irvine S. J. C. Atmospheric pressure MOCVD of highly conductive thin films of CdO // Proc. 10th European Workshop on MOVPE.— Lecce, Italy.— PS.II.03. — 2003.
Ma D. W., Ye Z. Z., Chen L. L. Dependence of structural and optical properties of Zn1-xCdxO films on the Cd composition //Phys. stat. sol. (a).— 2004.— V. 201, ¹ 13.— P. 2929—2933.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2010 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.
