ОСОБЛИВОСТІ СТВОРЕННЯ ХВИЛЕВОДНИХ СТРУКТУР ДЛЯ ДАТЧИКІВ ПЕРЕМІЩЕНЬ НА ПАХ

Автор(и)

  • Ya. I. Lepikh Одеський національний університет імені І.І. Мечникова, Україна
  • V. K. Lopushenko Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна
  • V. A. Poddubnyi Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна
  • N. F. Zhovnir Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2008.3.114639

Ключові слова:

поверхневі акустичні хвилі, хвилеводні структури, п’єзоелектричні плівки ZnО

Анотація

У роботі наведені результати досліджень і розробки вимірювальних перетворювачів для датчиків лінійних і кутових переміщень на поверхневих акустичних хвилях (ПАХ) на основі п’єзоелектричної плівки оксиду цинку (ZnО) з використанням плівкових хвилеводів. Досліджувалися малоапертурні зустрічно-штирьові перетворювачі (ЗШП) ПАХ і плівкові концентратори рупорного типу. Даються оцінки отриманим результатам досліджень.

Посилання

Lepikh Ya. I. The state and prospects of the Sensor electronics based on acoustoelectronic phenomena// Sensor Electronics and Microsystems technologies. — 2004. — #1. — P.45-58.

Павловський М.А., Лопушенко В.К., Жовнір М.Ц.,

Черняк М.Г. Математична модель вимірювального перетворювача лінійних переміщень на по- верхневих акустичних хвилях //Механіка гіро-скопічних систем. — 1997. — Вип.14. — С.40-46.

Жовнир Н.Ф., Дидковский А.А., Ковтун Р.И., Наушенко С.С. Математическая модель измерительного преобразователя угловых перемещений на ПАВ // Электроника и связь. — 2001. — №11. — С.74-77.

Жовнир Н.Ф., Черняк Н.Г., Дидковский А.А., Ковтун Р.И., Наушенко С.С. Измерительные преобразователи физических величин на ПАВ // Электроника и связь, 2003. — №18. — С. 22-27.

Лепіх Я.І., Снігур П.О. Датчик кута повороту// Наукові розробки Одеського нац. ун-ту імені І.І. Мечникова.. — Одеса, Астропринт, 2004. — С.79-80.

Поверхностные акустические волны: Пер.с англ. / Под ред. А.Олинера. — М.: Мир, 1981. — 390 с.

Лопушенко В.К. Свойства пленок окиси цинка, полученных магнетронным методом// Вести. Киев, политехн. ин-та. Электроакустика и звукотехника. Киев, 1988. — Вып.12. — С.56-61.

Карпенко А.А., Лепих Я.И. Ступенчатый рупорный излучатель с плоской импедансной гребенкой //Радіоелектроніка та інформатика. — 2005. — №4. — С. 17-19.

Жовнир Н.Ф. Измерительный преобразователь перемещений на основе использования фазовых набегов ПАВ//Сб. докл. Межд. научно-техн. конф. “Проблемы физической и биомедицинской электроники”. Киев. — 1996. — С. 279-283.

##submission.downloads##

Опубліковано

2008-06-19

Номер

Том 5 № 3 (2008)

Розділ

Фізичні, хімічні та інші явища, на основі яких можуть бути створені сенсори

Ліцензія

Авторське право (c) 2008 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.