DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2008.3.114653

ДЕТЕКТОР УЛЬТРАФІОЛЕТОВОГО ВИПРОМІНЮВАННЯ НА ОСНОВІ ZnO, ЛЕГОВАНОГО АЗОТОМ

A. I. Ievtushenko, G. V. Lashkarev, V. I. Lazorenko, V. A. Karpyna, V. D. Khranovskyy, L. A. Kosyachenko, V. M. Sklyarchuk, O. F. Sklyarchuk

Анотація


Досліджено леговані азотом плівки ZnO, осаджені методом магнетронного розпилення в азотній плазмі на Si (100) підкладинку p-типу провідності. Створені поверхнево-бар’єрні Ni-ZnO:N-Al діоди демонструють високу фоточутливість з максимумом ~ 0,1 А/Вт на довжині хвилі 365 нм при зміщенні – 1 В і швидкодію із сталою часу ~ 100 нс. Запропоновано методи покращення властивостей детекторів УФ випромінювання на основі досліджених ZnO:N плівок.


Ключові слова


плівка ZnO:N; фотодіод; швидкодія; фоточутливість

Повний текст:

PDF

Посилання


Бланк Т.В., Гольдберг Ю.А. Полупроводниковые фотоэлектропреобразователи для ультрафиолетовой области спектра // ФТП. — 2003. — № 9. — С. 1025-1055.

А. І. Євтушенко, В. Д. Храновський, В. Й. Лазоренко, Г. В. Лашкарьов, В. А. Карпина, Одержання тонких плівок ZnO для використання в якості чутливого матеріалу детекторів УФ випромінювання // Тези Київської конференції моло-

дих вчених “Новітні матеріали та технології”, Київ. — 2006. — С.140.

Y.Liu, C.R. Gorla, S.Liang, N.Emanetoglu, Y.Lu, H.Shen and M. Wraback. Ultraviolet detectors based on epitaxial ZnO films grown by MOCVD // J. Electronic Mater.– 2000.– Vol. 29, — №1. — P. 69-74.

Powder Diffraction File, Joint Committee on Powder Diffraction Standards, ICDD, Newtown Square, PA, 2001, Card 36-1451.

K.W. Liu, J.G. Ma, J.Y. Zhang, Y.M. Lu, D.Y. Jiang, B.H. Li, D.X. Zhao, Z.Z. Zhang, B. Yao, D.Z. Shen Ultraviolet photoconductive detector with high visible rejection and fast photoresponse based on ZnO thin film // J. Solid-State Electron. — 2007. — №51. — P. 757-761.

N. Fujimura, T. Nishihara, S. Goto, J. Xu, T. Ito Control of preferred orientation for ZnOx folms: control of self-texture // J. Cryst. Growth. — 1993. — №130. — P.269-274.

D.H.Zang, D.E.Brodie Crystallite orientation and related photoresponse of hexagonal ZnO films deposited by r.f. sputtering //J. Thin Solid Films. — 1994. — №251. — Р. 151-156.

Y.J. Zeng, Z.Z. Ye, Y.F. Lu, J.G. Lu, W.Z. Xu, L.P. Zhu, B.H. Zhao, Y. Che Investigation on ultraviolet photoconductivity in p-type ZnO thin films // J. Chemical Physics Letters. — 2007. — №441. P. 115–118.




Copyright (c) 2008 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)