CЕНСОР ПЕРЕКИСУ ВОДНЮ НА ОСНОВІ МДН-ТРАНЗИСТОРА З АКТИВНИМ ШАРОМ В ОБЛАСТІ ПІДКЛАДКИ

Автор(и)

  • O. Kutova Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна
  • M. Dusheiko Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна https://orcid.org/0000-0003-3476-4220
  • T. Obukhova Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна https://orcid.org/0000-0001-6415-4461
  • N. Maksimchuk Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна
  • T. Borodinova Інститут біоколоїдної хімії імені Ф. Д. Овчаренка НАН України, Україна
  • V. Tymofeev Національний технічний університет України «Київський політехнічний інститут імені Ігоря Сікорського», Україна

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2017.4.116007

Ключові слова:

МДН-транзистор, сенсор, перекис водню, пористий кремній, Pt наночастинки

Анотація

Проведено дослідження сенсорів H2 О2 на основі МДН-транзисторів з шаром пористого кремнію та каталізатором перекису водню (наночастинками платини) на зворотній стороні підкладки в області затвору. Модифікація тильної сторони сенсора виконувалася шляхом метал-стимульованого хімічного травлення. Проведено аналіз пористої структури, вимірювання розміру наночастинок платини та їх вплив на чутливість сенсора. На основі апроксимації вольт-амперних характеристик при різних концентраціях перекису водню обчислено чутливість сенсора, що складає не менше 0,135 мкА/ppm. Розраховано енергетичну активність реакції каталітичного розпаду H2 О2 та її вплив на результати експерименту. 

Посилання

Chen, S., Yuan, R., Chai, Y. et al. Electrochemical sensing of hydrogen peroxide using metal nanoparticles: a review Microchim Acta (2013) 180: 15.

Ren, C., Song, Y., Li, Z. et al. Hydrogen peroxide sensor based on horseradish peroxidase immobilized on a silver nanoparticles/cysteamine/gold electrode Anal Bioanal Chem (2005) 381: 1179.

Wang, Q. & Zheng, J. Electrodeposition of silver nanoparticles on a zinc oxide film: improvement of amperometric sensing sensitivity and stability for hydrogen peroxide determination Microchim Acta (2010) 169: 361.

Wang, L., Zhu, H., Hou, H. et al. A novel hydrogen peroxide sensor based on Ag nanoparticles electrodeposited on chitosan-graphene oxide/ cysteamine-modified gold electrode J Solid State Electrochem (2012) 16: 1693.

Estrela-Lopis V.R., Borodinova T.I., Yurkova I.N., Extracellular biomeneralization and synthesis of nano- and microcrystals of gold and platinum in aqueous solutions of polysaccharides. In the book: “Colloid-chemical bases of nanoscience” / Ed. A.P. Shpaka, Z.R. Ulberg. - K.: Academperiodica, 2005. – 238-297.

Zhipeng Huang, Xuanxiong Zhang, Manfred Reiche, Lifeng Liu, Woo Lee, Tomohiro Shimizu, Stephan Senz, and Ulrich Gösele, Extended arrays of vertically aligned sub-10 nm diameter [100] Si nanowires by metal-assisted chemical etching, Nano Letters – 2008, Vol. 8, No. 9, 3045-3051.

Zhipeng Huang, Nadine Geyer, Peter Werner, Johannes de Boor, Ulrich Gösele, MetalAssisted Chemical Etching of silicon: A Review, Adv. Mater - 2011, 23, 285–308.

##submission.downloads##

Опубліковано

2017-12-26

Номер

Том 14 № 4 (2017)

Розділ

Хімічні сенсори

Ліцензія

Авторське право (c) 2017 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.