ПОРІВНЯЛЬНИЙ АНАЛІЗ ВПЛИВУ ШВИДКИХ ЕЛЕКТРОНІВ І НЕЙТРОНІВ НА ЕПІТАКСІЙНІ ШАРИ АРСЕНІДУ ГАЛІЯ
DOI:
https://doi.org/10.18524/1815-7459.2009.4.116103Ключові слова:
радіація, епітаксійний шар, радіаційна стійкість, арсенід галіяАнотація
Досліджені радіаційні ефекти, що виникають в епітаксіальних шарах арсеніду галія при опроміненні швидкими електронами і нейтронами. Проведено порівняльний аналіз їх впливу на електрофізичні параметри сполуки GaAs.
Посилання
С.В. Ленков, В.А. Мокрицкий, А.С. Гаркавенко, В.В. Зубарев, В.А. Завадский. Радиационное
управление свойствами материалов и изделий опто — и микро-электроники: Монография.– Одесса: Астропринт, 2002 — 297 с.
Уваров Е.Ф. Электрофизические свойства полупроводниковых соединений АШВУ, облученных
быстрыми электронами и нейтронами // Обзоры по электронной технике. Сер. 2. Полупроводниковые приборы. — М.: ЦНИИ, Электроника. — Вып. 9. — 1979. –68 с.
Физико-технические основы радиационной технологии полупроводников / С.В. Ленков, В.А. Мокрицкий, Д.А. Перегудов, Г.Т. Тариелашвили / Под ред. В.А. Мокрицкого. — Одесса: УТС ПРИНТ, 2002. — 297 с.
##submission.downloads##
Опубліковано
Номер
Розділ
Ліцензія
Авторське право (c) 2009 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології
Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.
Авторське право переходить Видавцю.