DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2006.2.117610

ВПЛИВ ТЕХНОЛОГІЧНИХ РЕЖИМІВ НА МОРФОЛОГІЮ ПОВЕРХНІ ПЛІВОК СКЛАДУ SіOx(SnOy)

A. N. Korolev, N. K. Plugotarenko, V. V. Petrov, T. N. Nazarova, T. V. Semenistaya

Анотація


Проведено аналіз морфології поверхні плівок складу SіOx(SnOy). Показано вплив параметрів дозрівання вихідних плівкоутворюючих розчинів на мікроструктуру та морфологію поверхні. Вивчено процеси формування структури плівок з позиції теорії самоорганізації.


Ключові слова


золь-гель метод; тонка плівка; морфологія поверхні; теорія самоорганізації

Повний текст:

PDF (English)

Посилання


Park S.-S., Mackenzie J.D. Thickness and microstructure effects on alcohol sensing of tin oxide thin films// Thin Solid Films. 1996. V.274. P.154-159.

Meshkov L.L., Nesterenko S.N. Synthesis of nanocrystallite titanium dioxide for gas sensors.// Sensor. 2002. №1. P.49-61.

Suycovskaya N.V. Chemical methods of transparent thin films formation. L.: Chemistry.1979. -200 p.

Tuturski I.A., Chilkova I. A., Soloviova T. S. Sol-gel method and polymercomposites. M: CSRIEneftechim. 1996. 75 p.

Vikhrov S.P., Bodyagin N.V., Larina T.G., Mursalov S.M. Growth processes of noncrystalline semiconductor from positions of the self-organizing theory//Semiconductors. 2005. V.39. № 8. P. 953-959.




Copyright (c) 2006 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)