СЕНСОР ВОДНЮ НА ОСНОВІ АКУСТОЕЛЕКТРОННОГО ЕЛЕМЕНТУ І ШАРУВАТИХ СТРУКТУР

Автор(и)

  • Я. І. Лепіх Міжвідомчий науково-навчальний фізико-технічний центр МОН і НАН України при ОНУ імені І. І. Мечникова, Україна

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2011.3.117787

Ключові слова:

сенсор водню, поверхневі акустичні хвилі, шаруваті структури, молекулярне сито

Анотація

Наводяться результати розробки і дослідження мікроелектронного сенсора
водню, побудованого на основі акустоелектронного елемента на поверхневих акустичних хвилях і шаруватих структур з двох матеріалів, один з яких виконує функцію молекулярного сита.

Посилання

Монов В. Н., Симонов Л. А., Захаров А. А. Адсорбционный датчик. Патент Российской Федерации № 2084882. Опубл. 20.07.1997.

Бутурлин А. И., Дидкевич А. Я., Заикин В. А., Чахунашвили Г. Б. Проводниковые датчики состава газа. Электронная промышленность. 1988, Вып. 10 (178), С. 40.

Appl. Phus. Lett. 1982. V. 41, № 3, рр. 300–301.

Лепіх Я. І., Сминтина В. А. Сенсор водню // Патент України № 49429 від 26.04.2010. Опубл. Бюл. № 8 від 26.04.2010.

##submission.downloads##

Опубліковано

2011-08-07

Номер

Том 8 № 3 (2011)

Розділ

Акустоелектронні сенсори

Ліцензія

Авторське право (c) 2011 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.