СЕНСОР ВОДНЮ НА ОСНОВІ АКУСТОЕЛЕКТРОННОГО ЕЛЕМЕНТУ І ШАРУВАТИХ СТРУКТУР

Я. І. Лепіх

Анотація


Наводяться результати розробки і дослідження мікроелектронного сенсора
водню, побудованого на основі акустоелектронного елемента на поверхневих акустичних хвилях і шаруватих структур з двох матеріалів, один з яких виконує функцію молекулярного сита.


Ключові слова


сенсор водню; поверхневі акустичні хвилі; шаруваті структури; молекулярне сито

Повний текст:

PDF

Посилання


Монов В. Н., Симонов Л. А., Захаров А. А. Адсорбционный датчик. Патент Российской Федерации № 2084882. Опубл. 20.07.1997.

Бутурлин А. И., Дидкевич А. Я., Заикин В. А., Чахунашвили Г. Б. Проводниковые датчики состава газа. Электронная промышленность. 1988, Вып. 10 (178), С. 40.

Appl. Phus. Lett. 1982. V. 41, № 3, рр. 300–301.

Лепіх Я. І., Сминтина В. А. Сенсор водню // Патент України № 49429 від 26.04.2010. Опубл. Бюл. № 8 від 26.04.2010.




DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2011.3.117787

Посилання

  • Поки немає зовнішніх посилань.


Copyright (c) 2011 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)