DOI: https://doi.org/10.18524/1815-7459.2011.4.119028

СТРУКТУРА ТА ВЛАСТИВОСТІ НАНОКРИСТАЛІЧНИХ ПОКРИТТІВ З НІТРИДУ ТИТАНУ ОТРИМАНИХ ПРИ ОСАДЖЕННІ ПОКРИТТІВ ДУГОВОГО РОЗРЯДУ І З ВЧ СТИМУЛЯЦІЄЮ

А. Д. Погребняк, Б. Р. Жоллинбеков, А. М. Махмуд, І. Т. Караша, Г. В. Кірік, Р. Ю. Ткаченко, С. В. Плотніков

Анотація


За допомогою растрово-електронної мікроскопії (РЕМ), рентген-структурного
аналізу (РСА), адгезійної міцності, коефіцієнта тертя і швидкості зносу матеріалу, були вивчені властивості покриттів нк — TiN. Залежно від потенціалу зсуву, що подається на підкладку і тиску в камері, включення ВЧ розряду, показано, що сукупність різних параметрів реєстрованих в процесі дряпання, дозволяє розрізняти порогові значення критичного навантаження, прив’язані до різних типів когезійного і адгезійного руйнування покриттів при трибологічних випробуваннях. Були визначені розміри нанозерен нк — TiN стехіометрії покриттів, а також фазовий елементний склади та морфологія поверхні покриттів.


Ключові слова


електронна мікроскопія; рентгенівська; нітриду титану покриттів; ВЧ-стимуляція

Повний текст:

PDF (Русский)

Посилання


В. В. Васильев, А. А. Лучанинов, Е. Н. Решетняк и др. — ВАНТ. Серия: Физика радиационных повреждений и радиационное материаловедение. — 2009. — № 2. — С. 173–180.

А. Д. Погребняк, А. П. Шпак, Н. А. Азаренков, В. М. Береснев — Успехи физических наук, 2009, 179, п.1.р. 35–64

А. Д. Погребняк, О. В. Соболь, В. М. Береснев и др. — Письма в ЖТФ, 2009, т.35(19), с. 103–110

А. Д. Погребняк, А. А Дробышевская, М. М. Даниленок и др. — Известия высших учебных заведений. Физика, 2010, в. 12 с. 61–69

ПЛ. Игнатенко, Д. Н. Терпий, Н. А. Кляхина // ЖТФ. — 2009. — Т. 79, вып. 7. — С. 101 -07.

J. Pelletier, A. Anders — IEEE Transactions on Plasma Science,2005. — V.33, № 6. — P. 1944–1959.

A. D. Pogrebnjak, Y. N. Tyurin, Physics-Uspekhi 48, 5, 2005, 487–514

A. D. Pogrebnjak, Sh.M.Ruzimov, D. L. Alontseva at. al. 81, 10, 2007, 1243–1251

А. Д. Погребняк, А. А. Лозован, Г. В. Кирик и др., Структура и свойства нанокомпозитных, гибридных и полимерных покрытий, изд. УРСС 2011 (Москва), 364 с.




Copyright (c) 2011 Сенсорна електроніка і мікросистемні технології

ISSN 1815-7459 (Print), 2415-3508 (Online)