СТРУКТУРА ТА ВЛАСТИВОСТІ НАНОКРИСТАЛІЧНИХ ПОКРИТТІВ З НІТРИДУ ТИТАНУ ОТРИМАНИХ ПРИ ОСАДЖЕННІ ПОКРИТТІВ ДУГОВОГО РОЗРЯДУ І З ВЧ СТИМУЛЯЦІЄЮ

Анотація

За допомогою растрово-електронної мікроскопії (РЕМ), рентген-структурного
аналізу (РСА), адгезійної міцності, коефіцієнта тертя і швидкості зносу матеріалу, були вивчені властивості покриттів нк — TiN. Залежно від потенціалу зсуву, що подається на підкладку і тиску в камері, включення ВЧ розряду, показано, що сукупність різних параметрів реєстрованих в процесі дряпання, дозволяє розрізняти порогові значення критичного навантаження, прив’язані до різних типів когезійного і адгезійного руйнування покриттів при трибологічних випробуваннях. Були визначені розміри нанозерен нк — TiN стехіометрії покриттів, а також фазовий елементний склади та морфологія поверхні покриттів.