МЕТОД ЗБУДЖЕННЯ КВАЗІПОЗДОВЖНІХ АКУСТИЧНИХ ХВИЛЬ У ШАРУВАТИХ СТРУКТУРАХ

Автор(и)

  • Я. М. Оліх Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України, Україна
  • О. Є. Бєляєв Інститут фізики напівпровідників ім. В. Є. Лашкарьова НАН України, Україна
  • Я. І. Лепіх Міжвідомчий науково-навчальний фізико-технічний центр МОН і НАН України при Одеському Національному університеті імені І. І. Мечникова, Україна

DOI:

https://doi.org/10.18524/1815-7459.2021.4.248176

Ключові слова:

квазіпоздовжні поверхневі акустичні хвилі, хвилі Анісімкіна, шаруваті структури

Анотація

Досліджено і проведено аналіз методичних можливостей збудження квазіпоздовжніх (QL) акустичних хвиль мегагерцового частотного діапазону у шаруватих структурах GaN-on-sapphire. Для генерації і детектування QL-хвиль використано перетворювачі об’ємного типу поляризовані по товщині пластинки. Зроблено висновок, що таким методом можуть бути збуджені квазіпоздовжні хвилі (QL, quasilongitudinalmodes) – так звані хвилі Анісімкіна (AN), площина зміщень для яких локалізується в площині плівки, а напрям зміщення направлений вздовж хвильового вектора.

Посилання

Anisimkin I. V. New type of an acoustic plate modes: quasilongitudinal normal wave. Ultrasonics, 42, pp. 1095–1099 (2004).

Gulyaev Y.V. Properties of the Anisimkin Jr. modes in quartz plates. IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, 54, pp. 1382–1385 (2007).

Gulyaev Y. V. Peculiarities of the Anisimkin Jr. plate modes in LiNbO3 and Te single crystals. IEEE Trans. Ultrason. Ferroelectr. Freq. Control, 56, pp. 1042– 1045 (2009).

O. L. Balysheva. «Akustoelektronnaya komponentnaya baza», Zhurnal Radioelektroniki №6 (http://www.cplire.ru), (2014) (in Russian).

Anisimkin V. I. General properties of the Anisimkin Jr. plate modes. Proc IEEE Ultrasonic Symp, pp. 2580– 2583 (2009).

Anisimkin V. I. General properties of the Anisimkin Jr. plate modes. IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control, 57, pp. 2028–2034(2010).

Onoe M, Kaga S. Analysis of Anisimkin’s (qua- silongitudinal) modes in piezoelectric plate. Proc Ul- trasonic Electronics Symp, 30, pp. 397–398 (2009).

Onoe M, Kaga S. Analysis of Anisimkin’s (qua- silongitudinal) modes in piezoelectric plate. Jpn J Appl Phys,49, p. 07HD01 (2010).

Acoustic Properties of the Film/Plate Layered Structure V Anisimkin et al. IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control,58 (3), pp. 578-584(2011).

Propagation of the Anisimkin Jr.' and Quasi-Longitudinal Acoustic Plate Modes in Low-Symmetry Crystals of Arbitrary Orientation VI Anisimkin et al. IEEE Trans Ultrason Ferroelectr Freq Control 59 (4), pp. 806-810(2012).

Olikh Ya. M., Belyaev O. Ye, Lepikh Ya. I. Doslidzhennia kvazipodovzhnikh QL akustychnykh khvyl dlia sensoriv na strukturakh GaN-on-sapphire. Tezy dopovidei 9-oi Mizhnarodnoi naukovo-tekhnichnoi konferentsii “Sensorna elektronika ta mikrosystemni tekhnolohii” (SEMST-9) Ukraine, Odesa, 20 – 24 veresnia, 2021, S. 64

##submission.downloads##

Опубліковано

2021-12-31

Номер

Том 18 № 4 (2021)

Розділ

Фізичні, хімічні та інші явища, на основі яких можуть бути створені сенсори

Ліцензія

Creative Commons License

Ця робота ліцензується відповідно до Creative Commons Attribution-NonCommercial 4.0 International License.

Авторське право переходить Видавцю.